SECS/GEM 是指「半導體設備通信標準/通用設備模型」（SEMI Equipment Communication Standard/Generic Equipment Model），這是一套由 SEMI 組織制定的通信標準，用於在半導體製造設備與工廠自動化系統之間進行通信和控制。
這套標準是現代半導體製造中非常重要的一部分，幫助工廠實現自動化生產，提升生產效率，降低人工干預。以下是 SECS/GEM 的主要組成部分：
SECS（SEMI Equipment Communication Standard）：
- SECS-I: 定義了物理層通信協議，通常使用串行通信（如 RS-232）。
- SECS-II: 定義了通信中的數據格式和內容，這包括了設備控制指令、狀態報告、數據傳輸等。
GEM（Generic Equipment Model）：
- GEM 是基於 SECS-II 的一個擴展，它定義了一組通用的設備行為模型和功能，這些功能包括設備的啟動、停止、報警管理、數據收集、設備狀態監控等。這樣，無論不同廠商的設備，使用相同的 GEM 標準都可以在相同的控制系統中運行，達到更高的互操作性和兼容性。
SECS/GEM 的應用
SECS/GEM 被廣泛應用於半導體製造業中，特別是在晶圓製造、封裝測試、平板顯示器製造等領域。它幫助工廠自動化系統對製造設備進行統一的監控和管理，實現無人化或少人化的生產環境。
主要功能
- 數據收集: 自動收集製造過程中的重要數據，如設備狀態、設備參數等。
- 設備控制: 遠程控制設備的啟動、停止、操作模式切換等。
- 報警管理: 當設備出現異常時，能夠自動報警並記錄相關信息。
- 事件通知: 設備發生特定事件時，自動通知工廠系統。
SECS/GEM 標準的使用大大提高了半導體製造業的自動化水平，減少了設備整合的難度和成本，並促進了製造過程的標準化和高效率。
